CMOS光电转换特性
1. 量子效率和响应率 -PHOTOCONVERSION CHARACTERISTICS
总量子效率(Overall quantum efficiency, QE) 指入射光子转成像素电荷的效率,由下式给出:
\[\begin{align*} QE(\lambda)=N_{sig}(\lambda)/N_{ph}(\lambda) \tag{1} \end{align*} \]式中 , \(N_{sig}(\lambda)\) 是每个像素产生的信号电荷, \(N_{ph}(\lambda)\) 是每个像素的入射光子。如前所述,入射光子有一部分被光电二极管的上部结构反射或者吸收了。微型透镜结构决定了有效填充因子 \(FF\) , 光电二极管结构(从表面到衬底)决定了电荷收集系数。因此,式1可以被表达为
\[\begin{align*} QE(\lambda)=T(\lambda)\cdot FF \cdot \eta(\lambda) \tag{2} \end{align*} \]式中, \(T(\lambda)\) 是探测器以上结构的光线透射比, \(FF\) 是有效 , \(\eta(\lambda)\) 是光电二极管的电荷收集效率。 \(N_{sig}(\lambda)\) 和 \(N_{ph}(\lambda)\) 由下式表示 :
\[\begin{align*} N_{sig}=\frac{I_{ph}\cdot A_{pix}\cdot t_{INT}}{q} \tag{3} \\ N_{ph}=\frac{P\cdot A_{pix}\cdot t_{INT}}{hv} \tag{4} \end{align*} \]式中 \(I_{ph}\) 是光电流 photocurrent,单位为 \(A/cm^2\) ; \(A_{pix}\) 是像素面积,单位为 \(cm^2\) ; \(q\) 是电子电荷量 electron charge ; \(P\) 是输入光功率 optical input power ,单为为 \(W/cm^2\) ; \(t_{INT}\) 是积分时间。
响应率 Responsivity: \(R(\lambda)\) 定义为光电流与光输入功率的比例,由下式给出:
\[R(\lambda)=\frac{I_{ph}[A/cm^2]}{P[W/cm^2]}=\frac{dQ_{e^-}/dt[A]}{dE_{photon}/dt[W]}=\frac{Q_{e^-}}{E_{photon}}=\frac{qN_{sig}}{hvN_{ph}}=QE\cdot \frac{q\lambda}{hc} \tag{5} \]参考上式 5,则光谱响应可以用两种方式表示:响应率 或 量子效率 。为了突出两种表示方式的不同, 我们假设有一个虚拟图像传感器,它在 400~700nm 的波长范围内 QE 值恒为 0.5,其光谱响应如图 1 所示。我们经常使用 相对响应 the relative response ,即将响应值相对它的峰值进行归一化。将彩色滤光器的响应值color filter response(见图像传感器图一)和图像传感器的响应值 image sensor's response 相乘,可以得到整体的颜色响应。
2. 光电转换特性机理 - MECHANICS OF PHOTOCONVERSION CHARACTERISTICS
光电转换特性(photoconversion)表示了输出电压和曝光之间的关系。在数码相机领域,使用标准光源时, 曝光通常以勒克斯秒(lux-seconds)为单位。估计来自标准光源的入射光子数量的过程多少有些复杂, 光电转换的参数将用单色光为例进行说明。在单色光条件下,人射光每单位能量包含的光子数目很容易求出,光电转换的参数细节也容易分析。参考文献2 提供了估算标准光源中的人射光子数量的方法。