Foundry厂主流工艺为0.18μm、0.13μm、90nm、65nm、45nm、32nm等，而shrink工艺就是foundry在主流工艺的基础上，将相关参数设置进行调整，从而能够得到制程更先进的工艺。这么做的好处就是foundry的开发成本降低很多。如0.11um的工艺就是从0.13um的工艺基础上shrink得到的。
针对0.11um工艺，PR后产生的GDS其实是0.13μm的。GDS给到foundry后，还要将其shrink到0.11μm。因此我们在APR和signoff使用的qrcTechfile或者nxtgrd文件都是基于0.13μm来的，包括里面的width/spacing都是0.13μm的。
在Innovus跑pr时，首先要去看一下ict或者qrctechfile文件里面是否包含了scale factor 0.9。当然一般Foundry提供techfile肯定都是设置了scale fctor的。如果我们发现，rc techfile里面并未定义scale factor，可以在innovus中将scale factor定义为0.9：setShrinkFactor 0.9。
如果qrcTechfile中设置了shrink scale 0.9，而innovus也设置了shrink scale 0.9，那么Innovus会将qrcTechfile中factor替换掉。
而在signoff阶段，我们也需要查看一下RC techfile中是否包含有scale factor。下面主要介绍2个抽RC的工具的设置的注意点。
对于QRC工具，如果qrc.cmd文件中设置了scale factor，qrctechfile也包含了scale factor 0.9，那么运行QRC的时候，工具会报错。而在STARRC中，如果cmd file设置了scale factor 0.9，而nxtgrd也包含scale factor 0.9，那么starrc会将scale factor设置为0.9*0.9=0.81。这个是要着重注意的，如果设置重复，会导致计算出来的RC值偏小。
因此，小伙伴们在做到shrink工艺的时候，要着重去检查一下scale factor有没有少设或者多设。
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