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芯片关键工艺(AA POLY CT M1)

时间:2024-03-29 11:16:05浏览次数:31  
标签:AA POLY 晶体管 CT M1 工艺 金属线 CMP

芯片关键工艺分为几步:AA(就是离子注入的主要位置)、poly(多晶硅材质,电压就是压在他上面)、CT(这里指下面晶体管跟上面金属线的连接层)、M1(金属线第一层,一般越先进的工艺,金属线排布越复杂,不过工艺条件差不多,以第一层来代替后续工艺),AA、Poly更是将晶体管定义出来了,关键之处不言而喻,后面的CT、metal不过是将这些晶体管连起来的管路而已,特别是metal,都是重复堆叠,相比较而言更考验CMP(就是研磨,现在的东西镀膜了要通过CMP磨平,金属线填充的高低起伏要靠CMP磨平,所以现在金属线的工艺水平几乎受CMP制约)的能力。

做AA、Poly,最考验litho和etch(刻蚀,一般指离子刻蚀),怎么样曝出来符合要求的尺寸,fab叫CD(critical dimension,特征尺寸,其实就是大家常说的45nm工艺等,poly的线宽),是最核心的工艺,一般fab里最顶尖的机台和工程师就是为这个服务的,intel有鱼鳍结构的,后面或者3D晶体管,这个必须大牛才能解释清楚了。

标签:AA,POLY,晶体管,CT,M1,工艺,金属线,CMP
From: https://www.cnblogs.com/stephenkang/p/18103347

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