晶圆寻边器采用线阵CCD传感器，吸盘带动晶圆转动一周，传感器采集到的数据为正弦波形。
数据采集数学模型
根据运动的相对性，CCD 传感器可以看成是反方向绕旋转中心运动。如下图所示，坐标系建立在旋转中心，初始时刻硅片圆心的位置在Q（a，b）处， 到旋转中心距离为d。 CCD传感器位于X轴上；在时刻t，CCD传感器到达P点，P点距旋转中心为，此时的转角为。圆拟合的目标，通过CCD传感器采样数据
，i=1，2，...，N（其中N为总采样点数）计算出晶圆的极坐标
。[1] 乔遂龙. 嵌入式晶圆预对准控制系统的研究[D]. 哈尔滨工业大学, 2009.
晶圆检测的数学模型
晶圆的圆心拟合有多种方法，大多采用最小二乘法，计算量大。本人提出新的算法，当CCD检测最大值和最小值时圆心均在旋转中心和CCD连线上。如果圆心到旋转中心的距离为d，晶圆半径为R，CCD零点到旋转中心距离为k，CCD检测最大值为
，CCD检测最小值为
，则
根据以上公式可知。
只要找出采集数据的最大值和最小值即可求出圆心的极坐标半径，考虑两点可能带来较大误差，求出正弦波的幅值即可求出圆心的极坐标半径。
缺口检测
标签：晶圆,寻边器,圆心,传感器,CCD,旋转,计算方法 From： https://www.cnblogs.com/chunleixin/p/17762530.html