1. 工作台在X轴运动方向之直线度
精密水平仪置于工作台面中央（见图一），移动X轴，在全行程范围内读出X-Z平面（由a读出）和Y-Z平面（由b读出）数值差；
标准直尺置于工作台面上，使之与X轴平行，移动X轴，在全程范围内读出直尺面与立柱的距离之差（见图二）。
注：上述为检测X轴滑轨在三个平面内的直线度。
2. 工作台在Y轴运动方向之直线度
精密水平仪置于工作台面中央（见图三），移动Y轴，在全行程范围内读出Y-Z平面（由b读出）和X-Z平面（由a读出）数值差；
标准直尺置于工作台面上，使之与X轴平行，移动X轴，在全程范围内读出直尺面与立柱的距离之差（见图四）。
注：上述为检测Y轴滑轨在三个平面内的直线度。