1. X轴运动方向对工作台面的平行度千分表座固于Z轴上，表针打至工作台面上，X轴移动，在全程范围内读出数值。
2. Y轴运动方向对工作台面的平行度
千分表座固于Z轴上，表针打至工作台面上，Y轴移动，在全程范围内读出数值。
注：上述为检测工作台面安装对其导轨的X轴和Y轴方向的平行度。
3. 工作台面的直线度
标准直尺置于工作台面中央（分X轴与Y轴方向）调整等高块，使直尺与工作台面平行，测直尺面与工作台面在全行程范围内距离差值。
X－Z平面数值由直尺放置X轴方向读出；
Y－Z平面数值由直尺放置Y轴方向读出.
注：上述分别由X轴和Y轴方向测出工作台面直线度，组合起来实为工作台面的平面度。