一、优势
相比传统的机械传感器，MEMS具有着巨大的竞争优势：
1.MEMS传感器具有着体积小、重量轻、功耗低的特点。
其内部结构可达微米甚至纳米量级。同时其内部的机械部件由于微型化后会具有惯性小、谐振频率高、响应时间短等优点。
2.MEMS可通过硅微加工工艺进行批量制造、封装、测试。
以单个5mm*5mm尺寸的MEMS器件为例，在一片16英寸的硅片晶圆上可同时切割出大约4000个芯片，可以大大降低器件的生产成本。根据Yole Development的研究，单个MEMS的平均成本在0.1-1美元之间。
3.随着MEMS技术及工艺的发展，现在倾向于单个MEMS芯片中整合更多的功能，实现更高的集成度。
例如惯性传感器IMU，从以前的分立式惯性传感器到现在的MPU6050芯片，其中集成了3轴MEMS陀螺仪，3轴MEMS加速度计，以及一个可扩展的数字运动处理器DMP。在未来,系统级的高度集成化将会是MEMS未来在互联网应用场合的主要承载形式。
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