目录薄膜与CVD工艺一、氧化膜的制备（一）二氧化硅的结构、性质与用途LOCOS工艺STI工艺两者区别（二）热氧化法生长二氧化硅膜（三）氧化生长模式（四）氧化诱生堆垛层错（五）热分解淀积氧化膜（CVD）（六）热处理（七）二氧化硅膜质量检测二、化学气相淀积（CVD）（一）原理（二）分类三、外延生长（一