这里是引
一，机械性能标准
1，尺寸精度
（1）基座的长、宽、高尺寸公差一般要控制在 ±1 - ±3mm 范围内，具体取决于设备的规格要求。例如，对于高精度光刻机的防震基座，尺寸公差可能要求在 ±1mm 以内，以确保与设备的紧密配合。
（2）安装孔的位置精度更为关键，位置度公差通常在 ±0.5 - ±1mm 之间。这是因为安装孔用于固定半导体设备，位置不准确可能导致设备安装困难，甚至影响设备的正常运行。
2，平面度和平行度
（1）基座的上表面平面度要求较高，一般要达到每米长度内不超过 0.1 - 0.3mm 的误差。例如，在长度为 3 米的基座上，表面最大起伏不能超过 0.3mm，这样才能为半导体设备提供稳定的安装平面。
（2）对于多层结构的基座，各层之间的平行度也很重要，平行度误差通常应控制在每米长度内 0.2 - 0.5mm 之间，以保证设备在运行过程中的稳定性。
3，承载能力
（1）基座必须能够承受半导体设备的重量和工作时产生的动态载荷。静态承载能力一般要大于设备重量的 1.5 - 2 倍。例如，一台重 5 吨的半导体设备，基座的静态承载能力应至少达到 7.5 - 10 吨。
（2）动态承载能力需要考虑设备运行时的振动、冲击等因素，例如设备在启动和停止过程中可能产生的冲击载荷，基座应能承受这些动态载荷而不发生变形或损坏。
4，刚度和强度
（1）基座的刚度要足够高，以防止在设备运行或受到外界振动干扰时产生过大的变形。其弹性变形量一般应控制在设备允许的范围内，例如，在承受设备最大动态载荷时，基座的最大变形量不能超过 0.1 - 0.2mm。
（2）基座的强度要满足抵抗破坏的要求，通过材料的屈服强度和极限强度等指标来衡量。一般来说，基座材料的屈服强度应比预计的最大工作应力高 30% - 50%，以确保在长期使用过程中不会发生塑性变形或断裂。
二，防震性能标准
1，隔振效率
（1）在关注的振动频率范围内（通常为几赫兹到几千赫兹），基座的隔振效率应达到一定的水平。例如，对于频率在 10 - 100Hz 之间的外界振动，隔振效率一般要求达到 80% - 95% 以上。这意味着只有 5% - 20% 的外界振动能够传递到半导体设备上。
（2）不同的半导体设备对隔振效率的要求也有所不同，高精度的电子束曝光设备可能要求在更宽的频率范围内有更高的隔振效率，以保证设备的成像精度。
2,共振频率控制
基座自身的共振频率应设计在远离半导体设备运行频率和外界主要振动频率的范围之外。一般来说，基座的共振频率应低于设备运行频率的 1/3 或高于设备运行频率的 3 倍。例如，设备运行频率为 100Hz，基座的共振频率应低于 33Hz 或高于 300Hz，以避免共振现象的发生，从而有效隔离振动。
3,振动衰减时间
当受到外界瞬时振动冲击后，基座应能使振动快速衰减。例如，在受到一个标准冲击脉冲后，基座上的振动幅值应在 1 - 2 秒内衰减到初始值的 10% 以下，这样可以减少振动对设备的影响时间，确保设备能够快速恢复到稳定的工作状态。
三，电气性能标准（如果有电气系统）
1，接地性能
基座的电气接地电阻应符合安全标准，一般要求接地电阻小于 4 - 10 欧姆。良好的接地可以防止静电积累和电气设备漏电时对人员和设备造成伤害。
接地系统的连接要牢固可靠，连接点的接触电阻应尽可能小，并且要定期检查接地系统的有效性，确保在整个设备运行周期内接地性能良好。
2，电磁兼容性（EMC）
（1）对于带有电气控制系统的防震基座，要满足电磁兼容性要求。在一定的频率范围内（如 150kHz - 1GHz），基座产生的电磁辐射强度应低于规定的限值，例如，电场强度要小于 30V/m，磁场强度要小于 1A/m。
（2）同时，基座应能抵抗外界的电磁干扰，在受到一定强度的电磁干扰（如静电放电、射频电磁场辐射等）时，电气系统能够正常工作，不会出现误动作或性能下降的情况。
四，安装工艺标准
1，螺栓连接质量
（1)基座各部件之间通过螺栓连接时，螺栓的拧紧力矩要符合设计要求。一般使用扭矩扳手按照规定的扭矩值进行拧紧，例如，对于 M12 的高强度螺栓，拧紧力矩可能在 80 - 120N・m 之间。
(2)螺栓的拧紧顺序也有讲究，通常要按照对角线的顺序逐步拧紧，以保证连接的均匀性和紧密性，避免因局部应力集中而导致部件变形或连接松动。
2,焊接质量（如果有焊接部分）
(1)焊接部位应无明显的焊接缺陷，如气孔、夹渣、裂纹等。焊缝的外观应平整、光滑，焊缝余高一般控制在 2 - 4mm 之间。
(2)对焊接质量要进行无损检测，如采用超声波探伤或射线探伤等方法，确保焊接内部质量符合要求。焊接接头的强度应不低于母材的强度，以保证基座的整体强度。
3,表面处理质量
（1）基座的表面应进行适当的处理，如喷漆、镀锌等。喷漆表面应均匀、无流痕、无气泡，涂层厚度一般在 60 - 120μm 之间，并且要具有良好的附着力，以防止表面生锈和腐蚀。
（2）如果是镀锌处理，锌层厚度应符合相关标准，例如，热镀锌层厚度一般要求在 60 - 80μm 之间，能够为基座提供长期的防腐保护。
