存储器的抹除流程让人想起相机的闪光灯,于是闪存被命名为“FLASH”。自1984年东芝的舛冈富士雄博士发明闪存技术以来,在四十年的历史长河中,闪存经历了一次又一次的技术变革。
1、NAND Flash芯片结构
SSD是常见的基于NAND Flash的存储器。SSD结构主要由NAND Flash和controller组成,其中NAND flash芯片结构从小到大依次是Page→Block→Plane→LUN(Die)→NAND Flash。下图展示了1Tb TLC NAND闪存中LUN的结构图,包括6个Plane,每个Plane由363个Block组成,每个Block由4176个Page组成。同一条WL上所连接的存储单元(Cell)共同组成Page,Page是NAND闪存中读写操作的最小单位;共用基底的若干个WL共同组成Block,Block是擦除操作的最小单位。
2、NAND Flash的数据存储方式
浮栅(Floating Gate)结构在1967年由贝尔实验室的Kahng和施敏发表,这一发明是其后几十年闪存技术的基础。NAND 闪存基于浮栅晶体管,通过存储的电荷量来表示数据。NAND闪存由闪存单元(cell)组成,每个单元包含一个浮栅晶体管(目前3D NAND多为Charge Trap)、一个控制极、一个源极和一个漏极。
当浮栅充电时,它被识别为Program(编程)状态并标记为“0”;当浮栅没有电荷时,它被识别为Erase(擦除)状态并标记为“1”。根据每个单元Cell存储的位数,NAND闪存类型分为SLC、MLC、TLC和QLC。
SLC(Single-Level Cell):每单元仅存储1bit信息,即0或1。由于每个单元只有两种状态,SLC存储密度较低,但读写速度和稳定性出色,成本也最高。
MLC(Multiple-Level Cell):每单元可存储2bit信息,有四种状态:00、01、10、11。相较于SLC,MLC存储容量更高,但擦写寿命较短,读写速度也略逊一筹。
TLC(Triple-Level Cell):每单元可存储3bit信息,有八种状态:000至111。TLC是目前最常见的闪存类型之一,其性能不及SLC和MLC,但成本较低,能够满足大多数应用需求。
QLC(Quad-Level Cell):每单元可存储4bit信息,有十六种状态:0000至1111。QLC存储密度高,成本低,但擦写寿命短。
3、NAND Flash:从2D到3D的演进
1991年全球首个4MB NAND闪存问世,此后12MB NAND闪存、1GB NAND闪存、1GB MLC NAND闪存相继推出,存储技术飞速发展,存储密度大幅提升。2D NAND技术通过不断缩小制程来提高存储密度,从早期的90nm工艺到后来的20nm甚至更小,取得了显著进步。然而,随着制程工艺不断缩小,逐渐逼近物理极限,2D NAND性能提升遇到瓶颈:
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平面微缩工艺的难度越来越大
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电子隧穿效应以及相邻存储单元之间的串扰克服难度增加
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制造成本急剧上升
这些挑战促使存储厂商寻求新的技术突破。2007年,东芝率先提出3D NAND结构,NAND闪存正式从2D时代进入3D时代。
2D NAND主流技术是浮栅(Floating Gate,FG),通过减小特征尺((e.g. 20nm到16nm) 提高存储密度;3D NAND主流技术是电荷捕捉(Charge Trap,CT),通过提高堆叠层数(e.g. 64L到96L)提高存储密度。当前主流存储介质是基于Charge Trap技术的3D NAND。
3D NAND通过立体堆叠技术从24层、64层、128层发展到超过200层,显著提高了存储密度和容量。同时,采用更先进的NAND技术后,存储器性能更优、能耗更低,每字节成本远低于2D NAND。
--Multi-Stack工艺
Multi-Stack技术解决了3D堆叠工艺挑战,但随着Stack层数增加,单次先进刻蚀工艺实现通孔的难度也随之增加,且Stack之间会产生额外可靠性问题。不同Layer间参数不同,可能导致单Block内tBERS/tPROG/tR差异加剧。
--PUC/Xtacking
存储阵列外围电路变得越来越复杂,导致存储单元密度瓶颈以及工艺难度增加。传统的外围电路由临近型外围电路(Periphery Near Cell,PNC)逐渐向置底型外围电路(Periphery Under Cell,PUC)和置顶型外围电路Xtacking方向发展。
--I/O Interface
NAND闪存接口协议主要有ONFI和Toggle,两者总线最大速率均超过3.0Gbps,并向更高速率演进。虽然总线速率的提升改善了数据传输时延,但命令和地址传输时延未见改善,导致系统总线利用效率下降,系统设计的挑战也在进一步增加。
4、新技术与未来发展趋势
随着市场对数据存储在速度、功耗、容量、可靠性等方面提出了更高要求,现有存储技术面临着新的挑战,人们开始探索新的存储方法。
目前新型存储技术旨在集成SRAM的开关速度和DRAM的高密度特性,并具有闪存的非易失特性,主要探索方向有四种:相变存储器(PCM)、铁电存储器(FeRAM/FRAM)、磁性存储器(MRAM/STT-RAM)和阻变存储器(ReRAM/RRAM)。这些新型存储技术拥有一些共性,例如部分技术可通过工艺缩小尺寸以降低成本;无需使用闪存的块擦除/页写入,从而大大降低写入耗电,提高写入速度。
尽管新型存储技术研究已久,但目前尚不足以替代NAND闪存。然而,凭借超强性能、长寿命、可靠性、耐高温等特性以及工艺技术的创新,新型存储技术有望成为未来新一代的存储选择。
NAND闪存从最初的2D到如今的3D,甚至4D,层数不断提高,从24层、36层、48层到96层、128层、176层、200多层,最近甚至规划到了1000层,半导体从业者对技术的追求永无止境。未来,数据存储技术将持续创新,在性能、容量和可靠性上不断突破,为各行业带来更优的数据存储解决方案。
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