前言TCAD(TechnologyComputerAidedDesign)，虽然原名中没有与半导体器件有关的词汇，但这种软件便是半导体工艺模拟及器件模拟的工具，可以说是EDA软件的一种。TCAD软件同其他EDA软件一样，底层需要复杂的数学模型和数物模型支撑，能大幅减少半导体制造的研发成本，为新型半导体器件提供初