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金属化
2024-08-21
陶瓷基板
【附在每个笔记前面:个人学习记录,如有错误,烦请指正,不胜感激。】 一、组成:基片+膜层(基于行业局限性,暂时只看金属化薄膜基板,厚膜下次找机会再学习下)①基片材质: 氧化铝、氮化铝、碳化硅、金刚石 受制于成形工艺:即烧型、研磨型、抛光型在公差、表面粗糙度、平面翘曲