白光干涉仪在测量材料表面三维形貌方面的应用非常广泛，它通过非接触式测量方法，能够提供高精度的表面形貌数据。以下是白光干涉仪在测量三维形貌时的一些关键应用和特点：1. 高精度测量：白光干涉仪能够提供亚纳米级的测量精度，非常适合于纳米或亚纳米级别的超高精度加工领域的检测需求。

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