知识星球里的学员问：在TSV工艺填充时，常会看到空洞，请问空洞形成的机理是什么？  TSV的空洞是什么样子？  如上图，a，d，e是有空洞的TSV；b，c是正常的的TSV填充的效果。  TSV填充空洞的形成机理？1，在TSV电镀过程中，电流在孔口区域会集中，导致该区域的电流密度较大。导致沉积速率比孔内