SECS，全称SEMI Equipment Communication Standards（SEMI设备通讯标准），SECS基础一般包括以下四个标准 —— SECS-I、SECS-II、GEM以及HSMS，它们间的层次结构大致如下图所示：
其中，SECS-I与HSMS都规定了设备在物理链路上的消息格式、传输行为等内容，区别在于使用的物理实现方式不同 —— SECS-I使用R232串口完成连接，而HSMS使用TCP/IP协议实现连接；
SECS-II定义了设备间的消息格式；
GEM则为设备间的行为定义了一系列应当使用的具体SECS-II消息及其对应的响应消息，应用程序将按照设备采用的GEM、设备间消息协议、物理消息协议来完成具体的实现。
下一节：半导体基础SECS协议（SECS - I）
Tips：笔者对SEMI协议理解尚浅，若有谬误，望各位批评指正，共同进步
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