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半导体材料的基本知识

时间:2022-08-27 00:23:16浏览次数:73  
标签:43m 闪锌矿 基本知识 Si 金刚石 材料 半导体 结构

背景

在半导体领域,材料是十分基础且重要的,了解材料的物理性质对器件物理有着更深的理解。在本节中,我们主要是学习归纳一下常见的半导体材料的物理特性和结构信息,以供之后方便查阅。

半导体材料

Si, Ge, III-V 族

硅, 锗半导体

硅(Silicon),是一种化学元素,化学符号是Si,旧称矽。原子序数14,相对原子质量 28.0855,有无定形硅和晶体硅两种同素异形体,属于元素周期表上第三周期,IVA族的类金属元素。单晶 Si 是金刚石结构,属于立方晶系,它的空间群是 Fd-3m,点群是 Oh。在 300K 左右时它的带隙大约为 1.12 eV.

硅也是极为常见的一种元素,然而它极少以单质的形式在自然界出现,而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式,广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中。硅在宇宙中的储量排在第八位。在地壳中,它是第二丰富的元素,构成地壳总质量的26.4%,仅次于第一位的氧(49.4%)。

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锗(Germanium)是一种化学元素,元素符号Ge,原子序数32,原子量72.64,在化学元素周期表中位于第4周期、第IVA族。锗单质是一种灰白色准金属,有光泽,质硬,属于碳族,化学性质与同族的锡与硅相近,不溶于水、盐酸、稀苛性碱溶液,溶于王水、浓硝酸或硫酸,具有两性,故溶于熔融的碱、过氧化碱、碱金属硝酸盐或碳酸盐,在空气中较稳定。单晶锗也是金刚石结构,与Si一致。在300K时它的带隙大约为 0.66 eV.

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值得注意的是,最早的晶体管是基于 Ge 材料的,但随着技术不断发展,综合比较发现 Si 是最优的半导体材料,Si 基工艺也是目前半导体的主流 CMOS 工艺。

三五族半导体材料

三五族是指通常所说的III-V半导体是由上述IIIA族和VA族元素组成的两元化合物,它们的成分化学比都是1:1,大部分都是闪锌矿结构,空间群是F-43m,点群是 Td。

III-V族化合物族元是化学元素周期表中的IIIA素硼、铝、镓、铟、铊和VA族元素氮、磷、砷、锑、铋组成的化合物。通常所说的III-V半导体是由上述IIIA族和VA族元素组成的两元化合物,它们的成分化学比都是1:1。它包括以下化合物:BN、BP、BAs、AlN、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、GaAs、GaSb、InN、InP、InAs、InSb。

下表是三五族半导体的物理性质。来自 https://www.semiconductors.co.uk/propiiiv5653.htm

AlP AlAs AlSb GaP GaAs GaSb InP InAs InSb
结构 闪锌矿 闪锌矿 闪锌矿 闪锌矿 闪锌矿 闪锌矿 闪锌矿 闪锌矿 闪锌矿
空间群 F-43m F-43m F-43m F-43m F-43m F-43m F-43m F-43m F-43m
晶格常数 nm 0.54635 0.5660 0.61355 0.5451 0.5653 0.609 0.586 0.605 0.647
密度 g/cm^3 3.717 4.29 4.129 5.318 5.63 4.81 5.69 5.80
介电常数 9.8 10.06 12.04 11.1 12.5 15.7 12.4 14.6 17.7
直/间接带隙 Indirect Indirect Indirect Indirect Direct Direct Direct Direct Direct
带隙大小(300K) 2.45 2.153 1.615 2.272 1.424 0.75 1.344 0.36 0.17
带隙大小 2.505 4K 2.229 4K 1.686 27K 2.350 0K 1.5191 0K 0.8113 2K 1.424 1.6K 0.418 4.2K 0.237 2K
有效质量 0.1 0.12 0.067 0.042 0.073 0.027 0.013
轻空穴质量 0.082
重空穴质量 0.45

二维材料

火热中...

物理性质

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常见的结构

金刚石 Diamond

在晶体学中,金刚石结构又称为金刚石立方晶体结构(diamond cubic lattice structure),原型是金刚石。金刚石结构中的每个原子与相邻的4个原子形成正四面体,故单胞内原子数为5。具有金刚石结构的晶体除了金刚石以外,还有硅、锗、α-锡等。

闪锌矿 Zincblende

闪锌矿型结构,又称立方硫化锌型结构(cubic β-ZnS structure),属立方晶系,空间群 F-43M,为面心立方点阵。

可以看为两个面心立方套构而成。两类原子沿空间对角线彼此位移四分之一空间对角线长度套构。

金刚石结构与闪锌矿结构(zincblende structure)非常相似,不同之处在于,构成闪锌矿结构的两个面心立方点阵上的原子是不同种类的,例如Zn和S, 而构成金刚石结构的原子是同种类的。闪锌矿结构的堆积率随两种原子的相对大小而变。

纤锌矿 Wurtzite

晶体结构:2H 多形。六方晶系,点群6mm,C_{6v},空间群P6_3mc。
III-N 半导体材料的稳定结构是纤锌矿结构。

标签:43m,闪锌矿,基本知识,Si,金刚石,材料,半导体,结构
From: https://www.cnblogs.com/ghzhan/p/16629639.html

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