背景
在半导体领域,材料是十分基础且重要的,了解材料的物理性质对器件物理有着更深的理解。在本节中,我们主要是学习归纳一下常见的半导体材料的物理特性和结构信息,以供之后方便查阅。
半导体材料
Si, Ge, III-V 族
硅, 锗半导体
硅(Silicon),是一种化学元素,化学符号是Si,旧称矽。原子序数14,相对原子质量 28.0855,有无定形硅和晶体硅两种同素异形体,属于元素周期表上第三周期,IVA族的类金属元素。单晶 Si 是金刚石结构,属于立方晶系,它的空间群是 Fd-3m,点群是 Oh。在 300K 左右时它的带隙大约为 1.12 eV.
硅也是极为常见的一种元素,然而它极少以单质的形式在自然界出现,而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式,广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中。硅在宇宙中的储量排在第八位。在地壳中,它是第二丰富的元素,构成地壳总质量的26.4%,仅次于第一位的氧(49.4%)。
锗(Germanium)是一种化学元素,元素符号Ge,原子序数32,原子量72.64,在化学元素周期表中位于第4周期、第IVA族。锗单质是一种灰白色准金属,有光泽,质硬,属于碳族,化学性质与同族的锡与硅相近,不溶于水、盐酸、稀苛性碱溶液,溶于王水、浓硝酸或硫酸,具有两性,故溶于熔融的碱、过氧化碱、碱金属硝酸盐或碳酸盐,在空气中较稳定。单晶锗也是金刚石结构,与Si一致。在300K时它的带隙大约为 0.66 eV.
值得注意的是,最早的晶体管是基于 Ge 材料的,但随着技术不断发展,综合比较发现 Si 是最优的半导体材料,Si 基工艺也是目前半导体的主流 CMOS 工艺。
三五族半导体材料
三五族是指通常所说的III-V半导体是由上述IIIA族和VA族元素组成的两元化合物,它们的成分化学比都是1:1,大部分都是闪锌矿结构,空间群是F-43m,点群是 Td。
III-V族化合物族元是化学元素周期表中的IIIA素硼、铝、镓、铟、铊和VA族元素氮、磷、砷、锑、铋组成的化合物。通常所说的III-V半导体是由上述IIIA族和VA族元素组成的两元化合物,它们的成分化学比都是1:1。它包括以下化合物:BN、BP、BAs、AlN、AlP、AlAs、AlSb、GaN、GaP、GaAs、GaSb、InN、InP、InAs、InSb。
下表是三五族半导体的物理性质。来自 https://www.semiconductors.co.uk/propiiiv5653.htm
AlP | AlAs | AlSb | GaP | GaAs | GaSb | InP | InAs | InSb | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
结构 | 闪锌矿 | 闪锌矿 | 闪锌矿 | 闪锌矿 | 闪锌矿 | 闪锌矿 | 闪锌矿 | 闪锌矿 | 闪锌矿 |
空间群 | F-43m | F-43m | F-43m | F-43m | F-43m | F-43m | F-43m | F-43m | F-43m |
晶格常数 nm | 0.54635 | 0.5660 | 0.61355 | 0.5451 | 0.5653 | 0.609 | 0.586 | 0.605 | 0.647 |
密度 g/cm^3 | 3.717 | 4.29 | 4.129 | 5.318 | 5.63 | 4.81 | 5.69 | 5.80 | |
介电常数 | 9.8 | 10.06 | 12.04 | 11.1 | 12.5 | 15.7 | 12.4 | 14.6 | 17.7 |
直/间接带隙 | Indirect | Indirect | Indirect | Indirect | Direct | Direct | Direct | Direct | Direct |
带隙大小(300K) | 2.45 | 2.153 | 1.615 | 2.272 | 1.424 | 0.75 | 1.344 | 0.36 | 0.17 |
带隙大小 | 2.505 4K | 2.229 4K | 1.686 27K | 2.350 0K | 1.5191 0K | 0.8113 2K | 1.424 1.6K | 0.418 4.2K | 0.237 2K |
有效质量 | 0.1 | 0.12 | 0.067 | 0.042 | 0.073 | 0.027 | 0.013 | ||
轻空穴质量 | 0.082 | ||||||||
重空穴质量 | 0.45 |
二维材料
火热中...
物理性质
常见的结构
金刚石 Diamond
在晶体学中,金刚石结构又称为金刚石立方晶体结构(diamond cubic lattice structure),原型是金刚石。金刚石结构中的每个原子与相邻的4个原子形成正四面体,故单胞内原子数为5。具有金刚石结构的晶体除了金刚石以外,还有硅、锗、α-锡等。
闪锌矿 Zincblende
闪锌矿型结构,又称立方硫化锌型结构(cubic β-ZnS structure),属立方晶系,空间群 F-43M,为面心立方点阵。
可以看为两个面心立方套构而成。两类原子沿空间对角线彼此位移四分之一空间对角线长度套构。
金刚石结构与闪锌矿结构(zincblende structure)非常相似,不同之处在于,构成闪锌矿结构的两个面心立方点阵上的原子是不同种类的,例如Zn和S, 而构成金刚石结构的原子是同种类的。闪锌矿结构的堆积率随两种原子的相对大小而变。
纤锌矿 Wurtzite
晶体结构:2H 多形。六方晶系,点群6mm,C_{6v},空间群P6_3mc。
III-N 半导体材料的稳定结构是纤锌矿结构。